专家智库

殷伯华

殷伯华

高工
人才称号:中国科学院“现有关键技术人才”
研究方向:基于电子束的微纳加工与检测技术
yinbh@mail.iee.ac.cn
出生年月
1973-08-25
民族
汉
最高学位
职称
高工
毕业院校
中国科学院大学
所学专业
微纳电工技术
工作单位
中国科学院电工研究所
工作常住地

专家简介

长期从事基于电子束方法的纳米级扫描成像、计量检测和电子束曝光方面的控制系统和控制方法研究工作。 本人主持和参与了多项国家重点发计划项目的课题任务;主持一项国家自然基金面上项目。 针对微纳测量领域的卡脖子技术开展了多项科研攻关课题研究工作,在微纳成像与检测方面取得了系列科研成果。其中,基于DSP+FPGA 控制平台,开发了纳米加工专用的电子束曝光图形发生器装置,推广到多家高校和科研院所。目前正在开展场发射扫描电子显微镜研制任务和扫描电镜专用的微区能谱分析算法研究。

成果情况

1. [论文成果] Study on real-time detection method for electron beam selective melting process ( 通讯作者 MMEAT 2020 DOI:10.1088/1742-6596/1676/1/012196 Volume:1676 EI 2020-11-18 )\n2. [论文成果] X射线探测器双指数信号时间常数 ( 通讯作者 核技术 分类号: TL816.1 第 44 卷 第 9 期, P53-61 北大中文核心期刊,CSCD源刊扩展(E库)收录 2021-09-30 )\n3. [论文成果] 计量电镜中纳米位移台控制方法研究 ( 通讯作者 电子显微学报 TP273;TH703 V38-3, p228-235 北大中文核心期刊,CSCD源刊扩展(E库)收录 2019-06-14 )\n4. [论文成果] Analysis on Defocusing and Astigmatism of Electron Beam Selective Melting Machines ( 通讯作者 2020 ICMT 20204809537168 v 1654, N1 EI 2020-10-29 )\n5. [论文成果] Study of the Linewidth Measurement with Scanning Electron Microscope Based on Laser Interference principle ( 第一位 Proc. SPIE 10840 WOS: Vol 10840 EI 2019-01-24 )\n6. [项目成果] 微区X射线能谱仪研制 ( YZLY201901 第一位 中国科学院 省、部级 2022-08-31\n7. [项目成果] 微纳加工技术及装备研究团队课题 ( GJJSTD20200003 第一位 中国科学院 省、部级 2023-07-31\n8. [项目成果] 基于纳米位移平台的SPM扫描系统应用开发及光电子器件测量 ( 2017YFF0105904 第一位 科技部 国家级 2019-12-31\n9. [项目成果] 快速大范围柔性铰链位移台耦合振动机理和控制方法研究 ( 51375470 第一位 国家自然基金委 国家级 2017-12-31\n10. [项目成果] 扫描电子显微镜 ( 关键技术攻关-01 第一位 型号任务 国家级 2022-12-31\n11. [科研奖励成果] 计量型扫描电子显微镜标准装置的研究 ( 科技创新奖 第三位 厅、局级 二等奖 2021-08-26 )\n12. [专利成果] 一种纳米位移台的运动控制系统及其实现方法 ( 第一位 2018109537778 发明专利 2021-06-01 )\n13. [专利成果] 一种光学元件损伤的在线监测方法及系统 ( 第一位 202010866412.9 发明专利 )\n14. [专利成果] 一种数字多道脉冲分析装置 ( 第一位 202111393838.8 发明专利 )