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张富强

张富强

教授
人才称号:航天MEMS技术带头人
研究方向:传感器及微系统
forqy@sina.com
出生年月
1977-03-13
民族
汉
最高学位
职称
教授
毕业院校
中科院半导体所
所学专业
微电子学与固体电子学
工作单位
山东产研微纳与智能制造研究院有限公司
工作常住地

专家简介

2004年博士毕业后,先后在航天科技集团和北京信息科技大学从事传感器和MEMS技术研究工作,先后负责和参与了几十项国家和省部级项目的研发工作,先后对多种传感器进行研究,如谐振环陀螺、加速度计、变压隔离器、压力传感器、光电探测器、以及微流量计等,其中多款产品实现了批量供货,并发表和申请了多篇文章和专利。先后担任航天科技集团MEMS技术带头人和北京邮电大学兼职硕士生导师等。 先后申请和承担了多项国家、省部级和军口科研项目,项目来源于国防科工局、总装备部、国家科技部、航天科技集团、以及横向合作等。如科技部02专项项目“x射线三维显微成像研制与应用开发”、科工局重大专项项目“高过载**传感器系统研究与工程化”、装发部预研项目“***圆片级键合与SIP封装技术”、装发部型谱项目“抗高电压硅微变压**器”、科工局项目“微小***全集成化控制微系统技术研究”、以及北京市科委“SiC基紫外探测器件研究”等项目。

成果情况

1. [论文成果] 基于锁相环的音叉式原子力显微镜 测头电路系统研究 ( 指导学生为第一作者 计测技术 doi: 10. 11823 j. issn. 1674 - 5795. 2021. 01. 09 41卷1期,48-52 学位申请学院补充期刊 2021-01-09 )\n2. [项目成果] SiC基紫外探测器件研究 ( 第一位 北京市科委 省、部级 2020-04-01\n3. [项目成果] x射线三维显微成像研制与应用开发 ( 第一位 科技部02专项 省、部级 2018-08-10\n4. [项目成果] 微纳器件设计、制造、及圆片级测试技术开发 ( 第一位 产研院硅基微纳制造技术平台 其他企业横向项目 2023-12-31\n5. [专利成果] 一种平面螺旋电感的新型制作方法 ( 指导学生为第一位 ZL201610499863.7 发明专利 2018-11-06 )\n6. [专利成果] 一种射频MEMS开关及其制造方法 ( 指导学生为第一位 ZL201510981271.4 发明专利 2018-11-06 )\n7. [专利成果] 一种声表面波滤波器及制造方法 ( 指导学生为第一位 ZL201510850158.2 发明专利 2018-07-31 )